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1200℃預加熱滑動(dòng)雙溫區PECVD系統

更新時(shí)間: 2024-05-09

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產(chǎn)品報價(jià):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介: PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

詳細資料:

產(chǎn)品應用:

PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品組成:

PECVD系統配置:

1.1200度開(kāi)啟式雙溫區真空管式爐

2.滑動(dòng)系統分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配置管內測溫系統。

3.預加熱開(kāi)啟式管式電爐

4.等離子射頻電源

5.多路質(zhì)量流量控制系統

6.真空系統(可選配中真空或高真空)  

產(chǎn)品特點(diǎn):

生長(cháng)溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設備簡(jiǎn)單。

天津中環(huán)電爐股份有限公司  地址:天津市北辰區北辰科技園區雙川道11號

 

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